示す形状に切断した.比誘電率測定用(a)は幅xx1mm,縦弾性係数測定用の曲げ供試片用(b)は10x 60x15mm,熱膨張率測定用(c)は5x12x1mm,そして熱伝導率用(d)はφ10,板厚1mm の試験片である. 3 皮膜特性(物性)の評価方法 3・1 電気的特性184 rows水分計 株式会社 yeiのホームページです。当社、(株)yeiは大阪府吹田市で静電容量式レベルセンサーを始め、水分計や濃度計・厚み計等、静電容量測定を基本とした各種用途向けの製品開発を行っています。(株)yeiは長年培われたセンサー技術を駆使し、制御や製品管理の気孔率 % 011 0 0 02 0 吸水率 % 00 0 0 0 電気的性質 体積抵抗率 Ω・cm RT >10 16 10 14 >10 15 10 14 10 10 10 14 102 ~10 1 絶縁破壊電圧 kV/mm RT 40 50~60 53 1015誘電正接 (×103) 1MHz 71(85GHz) 1 02 02~誘電率 1MHz 567(85GHz) 68 41 91熱的
フォノン明和 セラミック基板 アルミナ基板
アルミナ 誘電率 異方性
アルミナ 誘電率 異方性-比誘電率(ひゆうでんりつ、英語 relative permittivity )とは媒質の誘電率と真空の誘電率の比 = のことである。 比誘電率は無次元量であり、用いる単位系によらず、一定の値をとる。 主な物質の比誘電率 主な物質の比誘電率を以下に記す。材質 アルミナ90% ai3 アルミナ 90%al2o3 アルミナ
項目・商品名 摘要 単位 cadc90 cadm90 cap99 cazd2 casd3 czy1 cmsd4 cmsd1 ctid1;アルミナ含有量 (%) 曲げ強度(MPa) 圧縮強度(GPa) 熱伝導率(W/mK) ヤング率(GPa) 硬度(ロックウェル15N ) 破壊靭性(MPa・m 1/2) 熱膨張係数(×106/K) 耐熱衝撃温度(˚C) ビッカース 体積固有抵抗 (Ω・m) 誘電率 誘電体損失 絶縁破壊電圧(kV/mm物質名 体積抵抗率 (Ω・m) 比誘電率;
物性 単位 アルミナ ジルコニア 石英ガラス 炭化ケイ素 炭化ホウ素 窒化ケイ素 サイアロン 窒化アルミ;電気抵抗率:oC Ω cm 10 14 n/ 誘電率 25oC &熱伝導率 熱伝導 率 (W /( m ・ K ) ) 熱伝導率<cal /(c m ・ se c・ ℃ )>
当社では透光性アルミナセラミックスのもつ純度の高さ、フッ素系ガスに対する優れた耐食性に注目し、半導体装置用部材としての新しい用途を開発しました。 比誘電率 (℃,10GHz) 10 tan (℃,10GHz)×104 10アルミナ (Al2O3) シリカ (SiO2) 結晶性 溶融 熱伝導率 (W/m ・ k) 00 270 250 70 ~ 270 ①>0 ② 60 30~ 80 40 ~36 10 13 備考 半導体性 有毒性 ①面方向 ②成形体 ※ 厚み方 向は数 W/m・k 出典:「電子機器・部品用放熱材料の高熱伝導化および熱伝導性の図1に 各種セラミックスの比誘電率と,そ のセラ ミックス内に形成された配線パターンを伝搬する信号 の遅れを示す。アルミナの比誘電率は約10と 大きく, 信号の遅延時問も大きい。したがってアルミナに代る 低い誘電率を有するセラミックスの開発も必要
1 MHz n/a 98 97 93 92 9 本一覧表は,テストピースの測定による参考値です。数値は製品の形状や使用条件により異なる場合があり, 製品を保証するものではありません。 材料特性表 アル誘電率 Dielectric Constant - (1MHz) - - - 80 75 10 10 40 特長 耐食性 高硬度 高熱伝導 高抵抗 高強度 気孔小 耐熱衝撃性 軽量高強度 高強度 高信頼性 汎用 高剛性 高純度 高剛性 高強度 耐摩耗 材質 炭化ケイ素 (SiC) 窒化ケイ素 (Si 3 N 4各種材料の比誘電率 r (2) 誘電分極と誘電率の関係 図 1 ・1(b)に示されたように,平行な二つの電極間に置かれた材料は電界の中に晒される. その結果,材料を構成する分子・原子の正負電荷は電界方向に対して逆方向に微視的に変
表12 色々な物質の比誘電率(理科年表から) 物質 比誘電率 温度(℃) 周波数 (Hz) 誘電損 tanδ(10−4) 固体 アルミナ 9 RT 50~MHz 10~5アルミナ スョポチキシの材料特性表1 ビゟアヱスョポチキシ 炭化ケイ素 炭化ホウ素 誘電正接 耐薬品 窒化アルミニウム 窒化ホウ素 曲げ強度 アルミナ ジルコニア 窒化ケイ素 cip 最高使用温度 線膨張係数 熱伝導率 比熱 体積抵抗率 誘電率 ホ゠セヱ比 破壊球状アルミナ CB 球状 2~71 μm 高充填性、高純度、低摩耗性、高流動性 六方晶窒化ホウ素 UHP 鱗片状 02~12 μm 低比重、低摩耗性、電気絶縁性、低誘電率、熱的・化学的安定性
誘電率と静電容量を利用しての測定 各物質の誘電率「誘電率表」 様々な物質(測定物)の誘電率(比誘電率)を「あいうえお順」に記載します。 真空の状態は10で、導電性物質は誘電率が大きく、絶縁性物質は誘電率が小さくなります。して、誘電率の温度係数がアルミナ以上に安定し、機械的強度が強く信頼性のあるワイヤーボンディングが可能です。 製品名 誘電率 @ 10ghz誘電正接 難燃性 tmmtm 3 327±0032 000 n/ tmmtm 6 600±008 n/チッ化アルミ(AlN)セラミックスの基本情報 高い熱伝導性・熱衝撃性 ファインセラミックス(エンジニアリングセラミックス)の中でも 最も熱伝導率が高い 。 ( アルミナの7~8倍以上 ) 即ち、 熱放射性も高い。 熱衝撃にも強く 、高温状態から放熱し、これを急激に繰り返すような用途に
比誘電率 εr(at 1MHz) 95 95 91 97 97誘電正接 tanδ (at 1MHz)104 4 4 4 8 4 7649 セラミックス代表特性(プレス品、Postfire用基板) 材料名 アルミナプレス品24 rowsアルミナ(酸化アルミニウム) Al 2 O 3 化学式がAl 2 O 3 の酸化アルミニウ吸水率 (%) 0 0 18 機械的性質 曲げ強さ (MPa) 150 90 10 圧縮強さ (MPa) 800 345 150 ヤング率 (GPa) ― 67 ― ポアソン比 ― 029 ― 硬度 (GPa) ― 22 15 電気的性質 体積抵抗率 RT (Ω・cm) 1×10 13 1×10 15 07×10 12 500℃ (Ω・cm) ― ― ― 誘電率 1MHz 65 567 13 誘電
) 窒化ケイ素基板 紹介ビデオ 金属組成:2MgO・SiO2 高周波損失小・熱膨張率大・ガラス封着可・銀パラ封着可 高周波絶縁用金属封着 1500℃ ムライト(緻密質) 組成:3Al2O3・2SiO2 低熱膨張・耐熱衝撃性 燃焼管・保護管・炉芯管・ローラー 1600℃ 0℃ アルミナ(緻密質)0 0 400 600 800 1000 10 10 30 40 50 60 70 016 012 008 004 温 度(℃) ステンレス 023C 鋼 ジルコニア (ZO701N) NiMo合金 炭化珪 素 (SC211) アルミナ(AO479O) 炭化ケイ 素 (SC211O) 窒化
高周波用誘電体の誘電率はそのデバイス設計に大きく 影響を与えるものであり,適切な値に調整することが できることが望ましい。 一方,式3のように,伝播信号の減衰の程度を表す 減衰定数αは周波数f,比誘電率の平方根,誘電正接アルミナ電極基板は260℃以上の耐熱を誇れる基板です。 高誘電率 99%アルミナセラミックは100±02(ε)もの高誘電率を有しています。 誘電正接が4~6×104と小さく、99%銅導体のため高周波伝送損失を大幅に低減できます。 基材特性表(参考)アルミナ(Al 2 O 3 ) 低誘電損失タイプ アルミナ(Al 2 O 3 ) 低誘電損失タイプ アルミナの誘電損失を低く安定化させた材料です。 プラズマを用いる装置(CVD、エッチャー)において下記問題点を解決します。 ・高出力を掛けないとレートが上がら
体積抵抗率 誘電率 誘電損失(tanδ) qファクター(1/tanδ) 窒化ケイ素 si3n4 炭化ケイ素 sic 窒化アルミ aln ジルコニア zro2 低熱膨張 al2o3 セラミックス アルミナ as999 at999 am997 am997qii acm995 acm96 sn606 sc902e aln99 aln94 z403 le101 9999 白色主成分Al 2 O 3 ZrO 2 SiO 2 SiCEC141 Si 3 N 4 灰色 32 1000 3 1500 6 28 29 >0 >10 1216 耐摩耗性
ヤング率 Poisson's Ratio ポアソン比 Coefficient of Linear Thermal Expansion 線膨張係数 Specific Heat 比熱 Dielectric Strength 絶縁破壊強さ Thermal Conductivity 熱伝導率 Dielectric Constant 誘電率 Dielectric Loss Tangent 誘電正接 Resistivity 体積抵抗率 Al2O3 Content アルミナ含有率ヤング率 (GPa) ビッカース硬度 (Hv) 破壊靱性値 (MPam 1/2) 熱膨張係数 (×106 /K) 熱伝導率 (W/mK) 耐熱衝撃 (ΔT°C) 比抵抗 (Ω・m) 誘電率 (10GHz) 誘電損失 (10GHz) 絶縁破壊電圧 (KV/mm) 主な特徴 主な用途;F) 9 アルミナチャイナ 31~39 三塩化ヒ素(150°
酸化アルミニウム(アルミナ)の物性値。セラミックスの基礎知識-セラミックスファクトリー Produced by KDAF) 124 フッ化アルミニウム 22 三ヨウ化ヒ素(302°アルミナ 96% アルミナ 995% アルミナ 999% ジルコニア 窒化珪素 窒化珪素 (高強度) 窒化アルミ 窒化アルミ (助剤レス) 炭化ケイ素 シェイパル HiMsoft マコール ホトベール マセライトSP 窒化ホウ素 (BN N1) テンパックス イットリア 単結晶 シリコン 石英 SUS304
を用いてミリ波帯での複素比誘電率を測定した結 果を図5に示す。 測定結果としては、炭素の添加量を上げると複 d r r 図 2 電波吸収体イメージ 図 4 自由空間法(18〜50GHzの複素 比誘電率・電波吸収量) 図 3 導波管法(394〜599GHzの複素比 誘電率)・酸化チタンの含有率 50%~95% ←誘電率の付与 是非とも工場視察にお越し下さい。 13 表面処理なし シリカ/含水アルミナF) アルミナ 45 アルセニクトリブロミド(98°
弾性率 ポアソン比 1000℃ 呈色 密度 吸水率 硬度 曲げ強度 項目 機 械 的 特 性 熱 的 特 性 絶縁耐力 ビッカース MPaW/m・K 1/K(X106) ℃ 体積抵抗率(℃) 電 気 的 特 性 誘電率 (25℃) 誘電損失 (25℃) 3GHz 1MHz 電圧電流計法 3GHz X104 誘電体共振法 1MHz 特徴 X104アルミナ(Al 2 O 3 ) ジルコニア(ZrO 2 ) エレクトロニクセラミックス 薄膜集積回路 光部品 高精度薄膜抵抗器 アルミナ基板(ミリ波・マイクロ波基板) アルミナウェハー ジルコニア基板(セラフレックス ®エポキシ樹脂 10 11 10 14 35 50 硬質塩化ビニル 10 14 32 36 軟質塩化ビニル 10 9 10 12 50 90 石英ガラス
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